高纯氮用途
在集成电路、半导体和电真空泵器件制造中作为保护气和运输气,化学液相淀积时的载气,液体外扩散源的带上气,在高温扩散炉中作为器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清理和挥发等工序中,作为置换、干躁、贮存和运输用气体。显像管制造中规定N2纯度为99.99%之上。在航天技术中,液氢充注系统务必先用高纯氮置换,再换高纯氦置换。
高纯氮消防安全应急措施
迅速撤离泄漏污染人员至优势处,并开展防护,严苛限定进出。提议应急处理人员戴自给正压式呼吸器。不必直接接触泄漏物。尽量断开泄漏源。避免 气体在低陷处堆积,遇打火源起火发生爆炸。用排烟风机将漏排气送至空旷处。漏气器皿要妥善处理,恢复、检测后再用。用雾状水维持火场中器皿制冷。能用雾状水自喷加快液氮挥发,但不能应用水枪射至液氮。如吸进高纯氮,觉得呼吸困难,给供氧。如吸气终止,马上开展人工呼吸。就诊。
分子式: N2
性质:纯度大于99.999%。无色无臭无味无毒的惰性气体。相对密度ds(21.1℃,空气=1)0.967。气体密度1.153kg/m3(21.1℃,101.3kPa);液体密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。
相对分子质量 28.013
熔点 63.15K,-210℃,-346oF
沸点,195.6
临界温度 126.1K,-147.05℃,-232.69oF
临界压力 3.4MPa,33.94bar,33.5atm,492.26psia
临界体积 90.1cm3/mol
临界密度 0.3109g/cm3
临界压缩系数 0.292
偏心因子 0.040
液体刻密度 ,-180℃时 0.729g/cm3
液体热膨胀系数 ,-180℃时 0.00753 1/℃
表面张力 ,-210℃时 12.2×10-3 N/m,12.2dyn/cm
气体密度 ,101.325 kPa(atm)和70oF(21.1℃)时 1.160kg/m3 ,0.0724 lb/ft3
气体相对密度,101.325 kPa(1atm)和70oF时(空气=1) 0.967
汽化热 , 沸点下 202.76kJ/kg,87.19 BTU/1b
熔化热 , 熔点下 25.7kJ/kg,11.05 BTU/1b
气体定压比热容 cp ,25 ℃时 1.038kJ/(kg· k),0.248 BTU/(1b·R)
气体定容比热容 cp ,25 ℃时 0.741kJ/(kg· k),0.177 BTU/(1b·R)
气体比热容比 , cp/cv 1.401
液体比热容 ,-183℃时 2.13kJ/(kg·k ),0.509 BTU/(1b·R )
因体比热容 ,-223℃时 1.489kJ/(kg·k ),0.356 BTU/(1b·R )
气体摩尔熵 ,25℃时 191.5 J/(mol·k )
气体摩尔生成熵 ,25℃时 0 J/(mol·k )
气体摩尔生成焓 ,25℃时 0 KJ/mol